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上海某技术研发中心有限公司8寸MEMS项目,主要废气为酸性废气(HCL HF H2SO4 HNO3 等)、碱(NH3等)、有机废气(IPA等),(酸排气22500CMH*3套,碱排气14000CMH*2套,有机排气28000CMH*2套,一般排气30000CMH*3套),一期项目 于2017年5月安装完成,废气处理系统位于室内,设计美观,满足客户需求,得到客户的好评与认可。